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  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "化學工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="非晶碳化矽"


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    以射頻矽甲烷電漿輔助化學氣相沉積法製備非晶矽薄膜太陽能電池元件之研究
    • /98/ 碩士
    • 研究生: 黃雅琴 指導教授: 洪儒生
    • 本研究係以射頻矽甲烷電漿輔助化學氣相沉積系統,藉由調配適當的反應參數如基材溫度、反應壓力及甲烷摻雜比等,分別進行本質非晶矽及p型非晶碳化矽薄膜之沉積,並針對薄膜的結構及光電性質加以分析,以設計出非晶…
    • 點閱:451下載:3

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    以射頻電漿輔助化學氣相沉積法製備 P型矽薄膜及其光電性質之研究
    • /97/ 碩士
    • 研究生: 朱炳勳 指導教授: 洪儒生
    • 本研究以三甲基硼(TMB)為摻雜物,使用射頻電漿輔助化學氣相沉積系統(RF-PECVD)於玻璃基材上成長p型非晶碳化矽以及p型微晶矽薄膜,並分析其結構及光電性質,期望能製備出適用於薄膜太陽能電池的p…
    • 點閱:296下載:0
    • 全文公開日期 2014/07/31 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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